Micron заявила о переходе на использование EUV-литографии к концу 2022 года
План по модернизации одной из своих фабрик по производству памяти на Тайване на использование литографических систем в экстремальном ультрафиолете (EUV) к концу 2022 года обозначила американская компания Micron Technology, 31 мая сообщает международный новостной портал об информационных технологиях TechPowerUp.
На выставке Computex 2022 компания сообщила о планах по переводу на EUV-литографию завода Тайчжуне. Первое время производство будет использоваться для отработки техпроцесса изготовления чипов оперативной памяти DRAM 1Ɣ.
После вывода опытного производства на показатели, достаточные для массового выпуска изделий, начнется модернизация и других объектов. Сейчас компания использует техпроцесс 1α, для которого применяются литографические машины, работающие в ультрафиолетовом спектре (DUV).
Micron — единственный производитель памяти из «большой тройки» (Samsung, Micron и SK hynix), который не начал активное использование EUV-литографии. При этом чипы компании остаются вполне конкурентными. Утверждается, что плотность размещения транзисторов относительно предыдущего техпроцесса 1ζ выросла в 1α на 40%.
Несмотря на то, что Micron — американская компания, производства у нее есть в Японии, Сингапуре, Китае и на Тайване. Большинство этих заводов было получено за счет поглощение меньших компаний.
