В Нидерландах подтвердили попытки США запретить поставки DUV-систем в Китай
Попытки американских официальных лиц добиться запрета поставок литографического оборудования для литографии в глубоком ультрафиолете (DUV) подтвердил министр иностранных дел Нидерландов Вопке Хукстра, 13 июля сообщает Bloomberg.
5 июля в Bloomberg сообщали со ссылкой на источники о попытках давления американской стороны на власти Нидерландов с целью перекрытия поставок DUV-литографических систем в Китай.
«Всегда имеет смысл поддерживать связь с друзьями, когда определенные товары имеют стратегическое значение и распространение по всему миру», — заявил Хукстра. «Конечно, есть разговоры об этом (прекращении поставок)», — добавил он.
Сообщается, что в США пытаются добиться запрета на поставки литографических систем, позволяющих изготавливать микросхемы с применением иммерсионной (погружной) среды.
В подобных машинах между фокусирующими линзами и фоторезистивным слоем применяется жидкость с показателем преломления выше единицы. Это позволяет добиться технологических норм менее 45 нм на DUV-системах. С применением дополнительных технологий вплоть до 14 и даже 7 нм.
В США планируют таким образом дополнительно ограничить Китай в производстве электроники. Хотя для наиболее передовых чипов применяются системы для литографии в экстремальном ультрафиолете (EUV), DUV-машины все еще производят огромное количество микросхем для самых различных отраслей.
Передовой производитель литографического оборудования ASML выступает против новых запретов на поставки в Китай. Продажа DUV-систем в КНР принесла в 2021 году 14,7% выручки компании.
