Метод лазерно-индуцированного графена применили для производства микросхем
Технологию лазерно-индуцированного графена адаптировали для изготовления проводящих поверхностей микросхем в лаборатории университета Райса, 26 апреля сообщает ACS Nano.
Метод лазерно-индуцированного графена (LIG), придуманный в 2014 году химиком Джеймсом Туром, заключается в сжигании лазером нанесенного на подложку полимера. В результате на поверхности остается только дорожка из гексагонального проводящего графена.
На сегодняшний день с помощью промышленного лазера, можно сформировать графеновые узоры на поверхности дерева, бумаги и даже продуктов питания.
А для создания токопроводящих дорожек в электронных схемах лазер формирует тонкие узоры графена в фоторезистивных полимерах и светочувствительных материалах, используемых в фотолитографии и фотогравировании.
«Прорывом стал тщательный контроль параметров процесса. Небольшие линии фоторезиста поглощают лазерный свет в зависимости от их геометрии и толщины, поэтому оптимизация мощности лазера и других параметров позволила нам получить хорошее преобразование при очень высоком разрешении», — сказал Бекхэм, работник лаборатории.
Потенциальные области применения этой технологии включают производство микросуперконденсаторов на кристалле, функциональных нанокомпозитов и микрожидкостных массивов.
