РФ начала серийное производство литографов для отрасли микроэлектроники

Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ) начал серийное производство отечественных литографов на 350 нанометров, заявил гендиректор ЗНТЦ Анатолий Ковалев, 1 октября сообщает издание «Инфопортал Зеленограда».

«Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ) начал поставку на рынок фотолитографов с разрешением 350 нанометров»,  — говорится в сообщении.

Издание сообщает, что на площадке «Микроэлектроника 2025» гендиректор ЗНТЦ Анатолий Ковалев заявлял о завершении разработки фотолитографа с разрешением 350 нанометров, что на производственной площадке были подтверждены все параметры и начинается серийное производство установок.

Первый литограф на 350 нм будет поставлен компании «Отраслевые решения», входящей в группу «Элемент», после чего пройдут пусконаладочные работы. Сумма сделки не разглашается.

Подчеркивается, что «Отраслевые решения» отвечают за локализацию в России всей производственной цепочки силовой электроники, востребованной в энергетике, тяжелом и легком машиностроении, приборостроении и авиации.

По словам Ковалева, эта поставка позволит перейти к созданию установки на 90 нанометров, и данный литограф будет полностью локализован в РФ.

Издание отмечает, что на данный момент ЗНТЦ работает над фотолитографической установкой с разрешением 130 нанометров. Стоимость установки составляет $6 млн (около ₽500 млн), что на 40–60% дешевле зарубежных аналогов.