В США придумали, как в два раза увеличить производство полупроводников

Новые изделия разработала американская компания Applied Materials для кремниевых пластин, сообщает 8 сентября пресс-служба фирмы.

Согласно сообщению, Applied Materials разработала системы для пластин карбида кремния. Системы позволят перейти от использования 150-мм пластин к 200-мм пластин.

Переход на новые пластины позволит производителям полупроводников увеличить выход продукции примерно в два раза в расчете на одну пластину.

Отмечается, что новая система для пластин — химико-механическая планаризация. Она позволяет в 50 раз снизить шероховатость поверхности кремниевой пластины по сравнению с обычным механическим шлифованием.

Другая система — «горячая» ионная имплантация. Она легирует полупроводниковый кристалл с минимальным повреждением кристаллической решетки.