ASML объявила об установке первой многолучевой машины контроля чипов
Произведена установка первого экземпляра новой многолучевой системы контроля пластин с чипами HMI eScan 1100, 25 апреля сообщает пресс-служба ведущей компании-поставщика оборудования для производства чипов ASML.
В предыдущих моделях машин ASML для проверки пластин с чипами на дефекты использовалось сканирование с одним лучем. Теперь в компании реализовали и установили первую систему со сканирующей матрицей из 25 лучей (5 на 5).
Такое изменение, согласно заявлениям пресс-службы компании, позволит проводить дефектоскопию в 15 раз быстрее. Согласно утверждению главы подразделения HMI Ю Цао, проект создания eScan 1100 был начат тогла, когда в компании поняли, что на рынке есть определенные пробелы в системах дефектоскопии передовых микросхем.
«Существует потребность в более точной инспекции для выявления небольших дефектов размером до 10 нм с высокой скоростью, чтобы проверить достаточную площадь пластины», — заявил он.
Заявляется, что вычислительная система машины позволяет обрабатывать данные от системы сканирования в режиме реального времени. Система позволяет выявлять физические дефекты и выявлять участки с электрическими проблемами.
